连续使用3～4 个月以后，即应更换真空泵油。在湿度较大的环境下使用，这里是指被抽容器里的湿度，举例说，在外界湿度很大的情况下，经常暴露大气后恢复抽气，这时就说湿度比较大。如果在外界湿度比较大的情况下，机械泵一直抽一台一直保持真空的设备，那抽再长时间也不需要更换泵油。所以说在湿度比较大的情况下，应酌情缩短换油期。换下的油可经清洁去湿处理后再用。
　　换油方法如下：将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下，旋下注油塞和放油塞，放出污油,断续启动电机4～6 次，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200～300CC，断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样，经2～3 次重复清洗，放光清洗用油,旋上放油塞，从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗孔的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。
换油最好在油温升高后进行。对泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆卸的清洗；平时也要注意保护进气口，检查滤网， 防止灰尘、杂质进入泵内，弄污泵油、损坏真空室